采用了三重掃描方式，運（yùn）用激光共聚焦、白光幹涉、聚焦變化等三種不同的掃（sǎo）描（miáo）原理，高倍率和低倍率，平麵、凹凸表麵的細微粗糙度，以及鏡（jìng）麵體，透明體等。VK擁有應對多種樣品的測量能力（從（cóng） 1 nm 到（dào） 50 mm），納米（mǐ）/微米/毫米一台完成測量。
即使是納米級（jí）的微小形狀變（biàn）化也（yě）能準確測量。
此（cǐ）外，如鏡麵體、透明體等測量難度高的（de）材料也能實（shí）現（xiàn）高速、高（gāo）精度、大範圍的測量。
