保證工（gōng）作台無摩擦運動（dòng），減少了偏（piān）差與扭矩
保證了運動的平穩
超高分辨率可達（dá）0.001ɥm，阿貝誤差小
保（bǎo）證機器最（zuì）大加速度和定位精度
避免碰撞，減少維修成（chéng）本
溫度變化時對誤差進行（háng）補償
使服（fú）務停機（jī）時間大大降低
能夠完成複（fù）雜精密零部件（jiàn）測量任務
能夠完（wán）成複雜的移動軌跡和（hé）測量數據的評價
根據工件幾何特征（zhēng）與公（gōng）差（chà）確認當前適宜的掃描（miáo）速度，提高檢測效率,可實現對已知或未知輪（lún）廓的高效率測（cè）量與（yǔ）掃描
可完成超高精度的光學鏡頭以（yǐ）及（jí）曲麵測量任務
提供優異的探測精度。即使在使用超（chāo）長加長（zhǎng）杆的情況下，任何探針的偏轉和彎曲可以得到自（zì）動（dòng）補償
